洁净室简介:
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气等污染物排除,大型空气净化工程,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室重要性:
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
山东康德莱净化工程优势:
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于优先地位。
洁净室重要性:
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
随着工艺牛产技术的不断发展,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是无尘车间,8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求,有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。
1无尘车间形式
1.1 无尘车间从平面布置划分一般有三种形式:即开放式( ballroom type)、港湾式(baycliasetype)、岛形布置(island type),如图1、2、3。
连锁控制:当送风机启动时按控制规律调节新风阀开度、预热蒸汽调节阀开度、再热蒸汽阀开度、加湿器蒸汽调节阀开度;当送风机停止时关闭所有控制阀门。
◆ 新风阀调节:检测新风温湿度和回风温湿度,分别计算出空气的焓值,冬季当新风焓值I 新< 回风焓值I回,净化设备总厂空气净化工程部,由于处理新风所消耗的能量大于处理相同量的回风所消耗的能量,医院空气净化工程,所以应采用至小新风量以便有效节约能源,故新风阀开度为允许的至小开度。
◆ 温度控制:由于室外温度较低(低于5℃),预热盘管处于工作状态,莱芜空气净化工程,根据预热温度检测值和设定值按PID 控制规律调节预热加热器蒸汽调节阀开度,使预热温度稳定在设定值。新风经过预热后与回风混合。根据回风温度检测值和设定值按PID 控制规律调节二次加热器蒸汽调节阀开度,使回风温度稳定在设定值。